類型

加熱型350℃    或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

腔體抽氣口

KF16

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

304不銹鋼

樣品臺尺寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距離

30mm（可選凹視窗間距15mm）

樣品臺測溫傳感器

A    級PT100鉑電阻

樣品臺溫度

室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）

樣品臺測溫誤差

±0.2℃

樣品臺變溫速率

高溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100熱電阻 （可選 K    S  B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭  BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhì)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針（可定做6探針）

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控制精度

≤5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

≤5μm

Z軸移動行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

≤5μm

數(shù)碼顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡放大倍數(shù)

100倍

顯微鏡工作間距

50-150mm

相機(jī)分辨率

1080P  60幀   

相機(jī)信號輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可調(diào)光源

LED光源

顯示屏

5寸 屏幕一體機(jī)