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微型真空探針臺(tái)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電學(xué)信號(hào)。

氣體溫度控制儀的氣體從腔體底部向上經(jīng)分布器以氣泡形式通過液層，氣相中的反應(yīng)物溶入液相并進(jìn)行反應(yīng)，氣泡的攪拌作用可使液相充分混合。鼓泡塔結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒有運(yùn)動(dòng)部件，適用于氣體加濕，氣液反應(yīng)。

超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺(tái)主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。

真空加熱腔體主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面高可升溫到高350℃。

高低溫真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL，真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)，使用國(guó)際上*溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。