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等離子清洗機優(yōu)勢

更新時間:2023-11-16點擊次數(shù):1349

等離子清洗機的優(yōu)勢:

1:真空度:用皮拉尼原理測量精確到Pa,千帕是用壓力規(guī)測試,不是一個量級的。

2:傳感器:用的進口的氣體流量傳感器,是質量流量計檢測氣體,精確度是通入流量的±1.5%。浮子流量計,是滿量程的4%,而且浮子球是上下浮動,手碰一下亂跑,真實效果達不了那么高。

4:功率是150W,國內都是統(tǒng)一的。

5:2路流量計,質量流量計采集更精準,流量控制 2個精密針閥調節(jié),線性調節(jié)度較好。

6: 真空采集皮拉尼原理真空計,測量大氣壓到0.1Pa的絕對真空。   

7: 通過精準的流量檢測及真空采集 使自動控制一氣呵成,通過檢測固定的真空值讓射頻輝光,即使是手動匹配射頻電源,也只需要匹配一次,下次相同工藝,基本不需要再次調節(jié)匹配 。

等離子腔.jpg1.jpg

問:清洗光刻膠可以嗎?

答:簡單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉,光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學反應,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。

問:可以去除表面雜質和一些膠嘛?

答:這個就是清洗半導體芯片表面纏雜的膠和雜質,可以去除納米級別的微小的膠和其它顆?;蛘弑∧?。

問:操作方便嘛

答:操作很方便。開關打開后,石英腔體抽真空,然后產生等離子,等離子和表面的污染物產生反應,產生廢氣,真空泵把廢氣抽走,等離子清洗機里面有一個托盤,咱們把產品放托盤上面,就可以清洗了。

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